【東京都八王子市（日本）2007年11月27日】 アドバンスドエナジー（NasdaqGM: AEIS）は、SEMICON® ジャパン2007で同社の新製品Paramount™ RF電源供給システムを重点的に展示する予定です。12月5日から7日まで千葉県の幕張メッセ（日本コンベンションセンター）で開催されるこの展示会ではこのほか、Aera® AS-92加熱気化システム、Aera EPV 排気圧コントローラなども展示する予定です。
セミコンダクタ（半導体）アプリケーション
AEの新製品、Paramount RF電源供給システムは、プロセス移行の迅速化、プロセスステップの短縮ならびにプロセス時間の削減を可能にすることによって、従来よりさらに複雑なアプリケーションでも、これまでにない優れたプロセス制御、高精度、再現性を実現します。精密な電源供給とRFパルシング（オプション）によって、次世代ノードで要求される反射防止コーティング、ハードマスク、キャップ層ならびにストップ層のエッチング／成膜・成長プロセスにおいて正確なプロセス制御と均質性の向上を実現します。Paramountシステムの測定技術と超高速周波数同調（オプション）機能により、13.56 MHz（固定／可変周波数）でこれまでにない高精度の測定・制御を可能にします。
会場ではこのほか、Aera EPV -100AW排気圧コントローラも展示する予定です。本機は、ファブの排気圧の「絶対圧」または「差圧」制御をユーザー自身で選択できる当社の特許技術を使っています。この排気圧コントローラは、気象条件や屋内の排気圧変動、もしくは高度などによる気圧の変化に関係なく、排気圧の精密制御を可能にすることによって、酸化膜の厚さを制御することができます。本機の卓越した耐久性、信頼性ならびに省電力性能により、歩留まりの改善と所有コストの削減が実現します。
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AE®が新製品PARAMOUNT™ RFシステムを中心にSEMICON® ジャパン2007に出展…2／2頁
FPDアプリケーション
業界をリードする信頼性と流量安定性を特長とする新製品、AS-92加熱気化システムは、薄膜均質性の大幅な向上、歩留まりならびにシステム稼働時間の拡大を実現します。AS-92は充填圧力をつねに監視する必要がなく、TEOS、SiCl4、HMDS、その他の先駆物質を気化して安定供給することができます。一体型サーマル技術によって結露を防止し、高温用MFCが蒸気供給量を正確に制御します。ガスウェットサーフェスは電解研磨、ウルトラクリーン処理済みです。
AEではこのほか、Pulsar™高出力DCパルシングアクセサリも展示します。プロセスの品質および均質性ならびにスループットと歩留まりを向上させる本機は、40 kW、40/40 kW、80 kWパルシング機能を搭載し、アークを抑制するだけでなく、アークの実際の発生を予防します。その結果、Pulsarアクセサリを使うことによって、住居用・建築用ガラスコーティング、フラットパネルディスプレイ製造、ロール・トゥ・ロール（roll-to-roll）コーティング、ヘッドライトメタライジングなど様々なアプリケーションにおける汚染、飛散、ひび割れなどを抑えることができます。
ソーラーPVアプリケーション
AEではこのほか、ソーラーPV（太陽電池）メーカーの厳しい仕様条件に適合した完全機能搭載のCesar® RFジェネレータなどのソーラーPVアプリケーション用製品も展示する予定です。
SEMICON ジャパン展示中のAE製品について詳しくはウェブサイトをご覧ください（www.advanced-energy.co.jp/SCJ07.html）。
アドバンスドエナジーについて
アドバンスドエナジー（AE, Advanced Energy）は、高成長を続ける薄膜製造ならびにソーラーPV（太陽電池）発電の技術革新と制御技術で世界をリードしています。具体的には、セミコンダクタ（半導体）、ソーラーPV、フラットパネルディスプレイ、データストレージ製品、建築用ガラス、ソーラーグリッドタイインバータ、その他の最先端アプリケーションをターゲットにしています。
AEの製品群には、柔軟性に富んだ精密な電源システム、信頼性の高いガス・液体流量制御システム、正確な温度計、ならびに各種のグローバルサポートサービスが充実しています。AEは、これらの製品群に特化して技術面でリーダーシップを発揮することにより、世界各地のOEM供給先やエンドユーザーなどのお客様のために、プロセス効果を最適化し、生産性を向上させ、CoOを引き下げます。
北米、アジア、欧州の各地域拠点から事業を展開するAEは、直営営業所、特約店、販売代理店を通して全世界で営業およびサポートを提供しています。1981年に創業したAEは、NASDAQグローバル市場（コード：AEIS）に上場している株式公開企業です。詳しい情報はウェブサイト（www.advanced-energy.com）をご覧ください。
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Advanced Energy®、AE®、Aera®、Cesar®ならびにParamount™はアドバンスドエナジー（Advanced Energy Industries, Inc.）の商標です。SEMICON®は国際半導体製造装置材料協会（Semiconductor Equipment and Materials International, SEMI）の商標です。