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AERA^® AS-92シリーズ（加熱気化システム）

業界をリードする信頼性と流量安定性を特長とするAera^® AS-92加熱気化システムは、薄膜均質性の大幅な向上とシステム稼働時間の拡大を実現します。AS-92加熱気化システムは、持続的な充填圧力や頻繁な保守作業を必要とする他の装置とは異なり、維持費を最小限に抑える一方、充填圧力をつねに監視する必要がなく、TEOS、SiCl4、HMDS、その他の先駆物質を気化して安定供給することができます。

AS-92加熱気化システムは、Aeraシリーズに対するお客様のご期待に応えられる優れた設計と製造品質に、業界をリードするサーマルチャンバとMFC技術を組み合わせた製品です。その結果、セミコンダクタ、フラットパネルディスプレイ（FPD）その他、高度な蒸気供給安定性が求められるアプリケーション向けに、システム稼働時間、プロセス再現性ならびに薄膜均質性を向上させ、高い信頼性と保守容易性を誇るシステムが完成しました。