VARIOMATCH™ マッチングネットワーク
Variomatch™オートマッチネットワークは、CESAR® RFジェネレータを補完する完全な製品ラインナップ です。Variomatch マッチングネットワークは広いインピーダンス範囲に対応しており、ユーザー自身が現場で簡単に設定できます。高信頼性の真空バリコン、固定インダクタ、PWM(パルス幅変調)制御モーターにより、どのプラズマアプリケーションにも適合する、再現性のあるインピーダンスマッチングを迅速に行います。インダクティブアプリケーションに適した特別モデルも用意しております。Variomatchは外部コントローラをいっさい使わない自動運転方式ですが、CESAR RFジェネレータのフロントパネルから手動で制御することもできます。
| 利点 |
特長 |
- 広いインピーダンス範囲にわたるパワーマッチングで柔軟性を実現
- Increased process yield
- Greater process productivity
- Easy integration and control
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- 空冷式
- 真空バリコン
- High tuning speed and accuracy
- Compact design
- Multiple tap options
- Automatic, manual, and pre-set modes
- Plug-and-play operation
- High-performing components
- Reliable connectors
- タップを使って非常に広いインピーダンス範囲を実現
- Digitally controlled tuning with intelligent motor driver technology
- DC bias measurement circuit
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機種の選択
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