Advanced Energy
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RF POWER SYSTEMS
Photo of VarioMatch™ Automatic Matching Networks
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VARIOMATCH™ マッチングネットワーク

Variomatch™オートマッチネットワークは、CESAR® RFジェネレータを補完する完全な製品ラインナップ です。Variomatch マッチングネットワークは広いインピーダンス範囲に対応しており、ユーザー自身が現場で簡単に設定できます。高信頼性の真空バリコン、固定インダクタ、PWM(パルス幅変調)制御モーターにより、どのプラズマアプリケーションにも適合する、再現性のあるインピーダンスマッチングを迅速に行います。インダクティブアプリケーションに適した特別モデルも用意しております。Variomatchは外部コントローラをいっさい使わない自動運転方式ですが、CESAR RFジェネレータのフロントパネルから手動で制御することもできます。
利点 特長
  • 広いインピーダンス範囲にわたるパワーマッチングで柔軟性を実現
  • Increased process yield
  • Greater process productivity
  • Easy integration and control
  • 空冷式
  • 真空バリコン
  • High tuning speed and accuracy
  • Compact design
  • Multiple tap options
  • Automatic, manual, and pre-set modes
  • Plug-and-play operation
  • High-performing components
  • Reliable connectors
  • タップを使って非常に広いインピーダンス範囲を実現
  • Digitally controlled tuning with intelligent motor driver technology
  • DC bias measurement circuit


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