SEKIDENKO温度計測器

最新型の温度計測システムとして設計されたSekidenko光ファイバー放射温度計(OFT)を擁する当社の温度管理ソリューションは、カスタムソリューションを要求するOEM、アプリケーションの専門知識を必要とするエンドユーザーのどちらのお客様にも付加価値をもたらす、世界最高レベルの製品群を実現しました。

アドバンスドエナジーのSekidenko光ファイバー放射温度計(OFT)は、プラズマ薄膜製造に使われる高度な温度制御に適した、すでに使用実績のある温度計測技術を提供します。当社が開発したin-situプローブによるウェーハまたはチャンバ部品のリアルタイム温度計測により、プロセス制御を最適化することができます。先駆的なこの光ファイバー温度計は、再現性に富み正確で使いやすい優れた温度制御・計測装置の開発をもたらしました。長年にわたって様々なアプリケーションに豊富な経験があり、RTP(急速加熱処理)、CVD(化学気相成長)、PVD(物理気相成長)、ストリップシステムに使われる何千ものOFTシステムを出荷してきた当社は、最新型の非接触型温度計測ソリューションで自他ともに認めるリーダーです。

 

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