急速な進歩を遂げているアドバンスドエナジーのイオンビームソース、誘導結合プラズマソースならびに気体ソース技術をお客様の工場の最新式プロセスに導入することによって、最先端技術を駆使しながら洗練された設計を実現することができます。その結果、シームレスな一体化設計、卓越した信頼性、高レベルの機能性が実現して、お客様の製造・アベートメントプロセスは新たなレベルへと進化します。


リモートプラズマソース（RPS）
種をリモート供給するための高密度プラズマを発生させる電源／プラズマソース一体型装置