Sekidenko OR400T 光ファイバー放射温度計
Advanced EnergyのOR400T 光ファイバー放射温度計（OFT）は、PECVD（プラズマCVD）、LPCVD（減圧CVD）、PVD（物理気相成長法）、メタルエッチングなどの大容量半導体アプリケーションに適した価格競争力のある非接触型ソリューションによってOFT製品ファミリーの柔軟性を広げます。コンパクトに設計されているので、簡単に組み込んで様々なプロセスアプリケーション独特の要件に適合させることができます。
| 利点 |
特長 |
- 温度計測精度の向上
- 熱電対温度計に対してコスト競争力がある代替品となる
- 生産性、歩留まり、スループットの向上
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- コンパクトなシングルチャンネル設計
- 非接触型in-situ温度測定
- RS-232およびアナログデータインタフェース対応（最大温度読取速度20回／秒）
- 低温性能の向上
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Sekidenko光ファイバ式放射温度計 English
Infrared Thermometry (2006) white paper
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