SEKIDENKO温度計測器
Sekidenko OR 400T 光ファイバー放射温度計(OFT)の写真
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Sekidenko OR400T 光ファイバー放射温度計

Advanced EnergyのOR400T 光ファイバー放射温度計(OFT)は、PECVD(プラズマCVD)、LPCVD(減圧CVD)、PVD(物理気相成長法)、メタルエッチングなどの大容量半導体アプリケーションに適した価格競争力のある非接触型ソリューションによってOFT製品ファミリーの柔軟性を広げます。コンパクトに設計されているので、簡単に組み込んで様々なプロセスアプリケーション独特の要件に適合させることができます。


利点 特長
  • 温度計測精度の向上
  • 熱電対温度計に対してコスト競争力がある代替品となる
  • 生産性、歩留まり、スループットの向上
  • コンパクトなシングルチャンネル設計
  • 非接触型in-situ温度測定
  • RS-232およびアナログデータインタフェース対応(最大温度読取速度20回/秒)
  • 低温性能の向上


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Sekidenko光ファイバ式放射温度計     English
Infrared Thermometry (2006) white paper
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