Advanced EnergyのOR4000TおよびOR4000Eマルチチャンネル光ファイバー放射温度計（OFT）は、RTP（高速熱処理）、HDP-CVD（高密度プラズマCVD）、MOCVD（有機金属気相成長法）、紫外線硬化など各種の半導体製造プロセス用途の非接触型温度測定で業界随一の性能を発揮します。OR4000Tはマルチチャンネル機能を持ち、読取速度は最高2 KHzまでサポートしており、最も要求の厳しい各種の半導体アプリケーションに適しています。OR4000Eでは、OR4000Tと同じ高速性能を実現したほか、リアルタイム放射率補正機能を追加しました。これらのモデルはいずれもモジュール設計を採用しており、各プロセスアプリケーション固有の要求事項に適合するように調製できます。
Sekidenko光ファイバ式放射温度計 EnglishInfrared Thermometry (2006) white paper AE Global Services brochure
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