SEKIDENKO温度計測器
Sekidenko OR4000TおよびOR4000E 光ファイバー放射温度計(OFT)の写真
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Sekidenko OR4000T/ OR4000E 光ファイバー放射温度計

Advanced EnergyのOR4000TおよびOR4000Eマルチチャンネル光ファイバー放射温度計(OFT)は、RTP(高速熱処理)、HDP-CVD(高密度プラズマCVD)、MOCVD(有機金属気相成長法)、紫外線硬化など各種の半導体製造プロセス用途の非接触型温度測定で業界随一の性能を発揮します。OR4000Tはマルチチャンネル機能を持ち、読取速度は最高2 KHzまでサポートしており、最も要求の厳しい各種の半導体アプリケーションに適しています。OR4000Eでは、OR4000Tと同じ高速性能を実現したほか、リアルタイム放射率補正機能を追加しました。これらのモデルはいずれもモジュール設計を採用しており、各プロセスアプリケーション固有の要求事項に適合するように調製できます。


利点 特長
  • 温度計測精度の向上
  • 再現性の向上、ばらつきの抑制
  • 生産性、歩留まり、スループットの向上
  • 複数のチャンバや基板材料にわたって安定性と信頼性を向上
  • 非接触型in-situ温度測定
  • リアルタイム放射率補正機能
  • 業界随一の温度ならびに放射率読取速度
  • 柔軟性に富むモジュール式プラットフォームアーキテクチャ
  • I/O、外部トリガー/同期出力一式を完全装備


資料ダウンロード

Sekidenko光ファイバ式放射温度計     English
Infrared Thermometry (2006) white paper
AE Global Services brochure

 
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