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Aera^® FC-P2000シリーズMFC

FC-P2000は、様々な注入圧力の範囲内でガスフローを精密に制御します。この機能によって、ガスの消費とともにソースガス圧力が徐々に低下するような各種のセーフティデリバリーシステム（SDS）アプリケーションにでも有効なフロー制御を実現します。

FC-P2000は、2～4 sccm（N2換算）のガスフローを制御して、シリンダ圧力を5Torrまで下げられることによって、シリンダ内のガス使用量の最大95％を供給します。