電源システム
アドバンスドエナジーは、セミコンダクタフラットパネルディスプレイデータストレージ製品ソーラーPV建築用ガラスその他製品アプリケーションの製造工程に使用される電源メーカーの世界最大手です。当社製品は次のような優れた機能を実現しています。
  • 他の追随を許さない高出力プラズマ制御
  • 他に類を見ないDC/高周波アーク制御
  • 最先端のマッチング技術
  • 実績がある優れた一体型電源ソリューション
当社が設計する電源システムは、次の各用途に適した性能を有しています。
  • 高周波クリーニング
  • メタルエッチング、誘電体エッチング 
  • フォトレジストアッシング
  • 化学気相成長(CVD)
  • プラズマCVD(PECVD)
  • 物理気相成長(PVD)
  • スパッタリング蒸着
当社ではこのほか、DCスパッタリング(反応性スパッタリングおよびメタルスパッタリング)、ACデュアルカソードスパッタリング、PECVDおよびイオンビーム蒸着装置、反応性イオンビームエッチング装置(RIBE)、ならびに最新式のプラズマ計測アプリケーションを供給しています。
電源装置選択マトリクス

Power supply selection matrix



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