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製品およびサービス
電源システム
DC
低・中周波
高周波RF
フローマネジメント(流量制御)
ソーステクノロジー
温度計測器
ソーラーインバータ
グローバルサービス
AE-CERTIFIED USED EQUIPMENT
電源システム
アドバンスドエナジーは、
セミコンダクタ
、
フラットパネルディスプレイ
、
データストレージ製品
、
ソーラーPV
、
建築用ガラス
、
その他製品アプリケーション
の製造工程に使用される電源メーカーの世界最大手です。当社製品は次のような優れた機能を実現しています。
他の追随を許さない高出力プラズマ制御
他に類を見ないDC/高周波アーク制御
最先端のマッチング技術
実績がある優れた一体型電源ソリューション
当社が設計する電源システムは、次の各用途に適した性能を有しています。
高周波クリーニング
メタルエッチング、誘電体エッチング
フォトレジストアッシング
化学気相成長(CVD)
プラズマCVD(PECVD)
物理気相成長(PVD)
スパッタリング蒸着
当社ではこのほか、DCスパッタリング(反応性スパッタリングおよびメタルスパッタリング)、ACデュアルカソードスパッタリング、PECVDおよびイオンビーム蒸着装置、反応性イオンビームエッチング装置(RIBE)、ならびに最新式のプラズマ計測アプリケーションを供給しています。
電源装置選択マトリクス
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The Art of Choosing the Right Power Supply
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