DC 電源システム
Photo of Pinnacle Series DC power system
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Pinnacle®シリーズ

Pinnacle® DC電源装置プラットフォームは、際立ったプロセス一貫性とプロセス制御を実現することにより、プロセス変動を大幅に抑えて歩留まりを向上させます。小型で柔軟性に富むこの製品シリーズは、業界で最も低い蓄積エネルギー、最高速のアーク遮断反応、さらに最も広い最大出力運転インピーダンス範囲を実現しています。

利点 特長
  • 最小限の運転・設置コスト
  • 業界最高速のアーク遮断
  • アーク遮断機能のパラメーターの設定変更が可能 
  • 最高度のプロセス効率  
  • 精密なプロセス制御
  • 最も低い蓄積エネルギー(出力1 kWにつき1 mJ未満)
  • タップ変更なし
  • インピーダンス範囲 4:1
  • ターゲット条件設定サイクル(TCC)―新たなターゲットの条件設定時間を短縮
  • 出力再現性: ±0.1%
  • ジュールモード:最適な化エネルギーを供給


資料ダウンロード

Pinnacle® Series DC Magnetron Power Supplies brochure
Understanding and Optimizing Static Deposition Processes for TFT Manufacturing (2008) white paper
Reactive Sputter Deposition of Aluminum Oxide Coatings, April 2004 magazine reprint
Reactively Sputtering High on the Transition Curve Using a Few Inexpensive Components, April 2002 magazine reprint
AE Global Services brochure

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