DC 電源システム
Photo of Pinnacle Diamond DC power system
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Pinnacle® Diamond
 

アドバンスドエナジーのPinnacle® Diamond™ DC電源装置は、業界最高の効率と力率を実現することにより、運転・設置コストを最小限に抑えました。Pinnacleの際立ったプロセス一貫性とプロセス制御は、超小型設計の一体型製品でありながら、変動を大幅に抑えて歩留まりを向上させることにより、さらに多くの利点を実現します。


利点 特長
  • 実績のあるPinnacleの性能と信頼性
  • 最高度のプロセス効率― 最小限の運転・設置コスト
  • プロセス、バイアスのどちらでも利用できる優れた柔軟性
    アーク反応の迅速な設定が可能―アークによる損傷が少ない
  • 多様な表示/制御設定
  • 精密なプロセス制御
  • 各種安全/電磁放射基準に適合
  • 業界最高の効率と力率
  • 小型設計― 3-Uハーフラックパッケージ仕様で最大15 kW
  • ワイドシングルタップ
  • Profibus/RS-232シリアル通信対応
  • ターゲット条件設定サイクル(TCC)― 新たなターゲットの条件設定時間を短縮
  • 水冷式
  • AC 400V入力のみ
  • 低い蓄積エネルギー(出力1 kWにつき6 mJ未満
  • 出力再現性: ±0.1%(15%以上の出力において
  • ジュールモードの選択で最適化エネルギー供給
  • 出力レベル、ストライク電圧、プロセス電圧の制限値をプログラム設定
  • 各種設定を非揮発性メモリに記憶
  • CEマーク認証済み


資料ダウンロード

Pinnacle® Series DC Magnetron Power Supplies brochure
Pinnacle® Diamond data sheet
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
A Novel Frequency-Domain Small-Signal Analysis of Resonant Power Converters, July 2004 magazine reprint
Partial Pressure Control in Reactive Sputtering, June 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
AE Global Services brochure


詳細情報の問合せ先

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