DC 電源システム
Photo of Pinnacle® 3000 Series DC power system
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Pinnacle® 3000

アドバンスドエナジーの Pinnacle® 3000 DC電源装置は、業界最高の効率と力率を実現することにより、運転・設置コストを最小限に抑えました。Pinnacleのプロセス一貫性とプロセス制御は、プロセス、バイアスのどちらのアプリケーションでも、変動を大幅に抑えて歩留まりを向上させることにより、さらに多くの利点を実現します。

利点 特長
  • 実績のあるPinnacleの性能と信頼性
  • 最高度のプロセス効率― 最小限の運転・設置コスト
  • プロセス、バイアスのどちらにも利用できる優れた柔軟性
  • アーク反応の迅速な設定が可能― アークによる損傷が少ない
  • 精密なプロセス制御
  • 多様な表示/制御設定
  • 各種安全/放射電磁波基準に適合
  • 業界最高の効率と力率
  • 小型設計― 2-Uハーフラックパッケージ仕様で3000 W
  • ワイドシングルタップ
  • Profibus/RS-232シリアル通信対応
  • ターゲット条件設定サイクル(TCC) ― 新たなターゲットの条件設定時間を短縮
  • AC 400 V入力のみ
  • 低い蓄積エネルギー(出力1 kWにつき6 mJ未満)
  • 出力再現性: ±0.1%(定格出力の15%において)
  • ジュールモード:最適化エネルギーの供給
  • 出力レベル、ストライク電圧、プロセス電圧の制限値をプログラム設定
  • 各種設定を非揮発性メモリに記憶
  • CEマーク認証済み


資料ダウンロード

Pinnacle® 3000 - 3-kW DC power supply data sheet
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
A Novel Frequency-Domain Small-Signal Analysis of Resonant Power Converters, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
AE Global Services brochure

 

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