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Paramount^® RF 電源供給システム

3 kW 、13.56 MHz（固定／可変周波数）ハーフラック型Paramount^® RF電源装置は、50Ω／非50Ω負荷時（VSWR＞3:1）に高精度の測定・制御を実現する強化型の電力・インピーダンス測定システムを搭載しています。最も急激なプラズマインピーダンスの変化もリアルタイムで補正するParamount RF電源装置は、次世代テクノロジーノードに適した移行の迅速化、プロセスステップの短縮、プロセス時間の削減を実現します。周波数同調機能（オプション）によって他のどの市販品よりも速く、ほぼ瞬時（ミリ秒単位）の同調を可能にしながら、そのインピーダンス測定性能はネットワークアナライザーに匹敵します。その結果、これまでになかった高精度、再現性、プロセス制御を実現しました。