低・中周波
Photo of PEII Series low/mid-frequency power system
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PEII 低周波電源シリーズ

低周波PEIIシリーズは、アーク制御の強化と電源内部での整合機能を特長とするパルス幅変調(PWM)機能を採用した40kHz電源装置であり、トランスのような外付けのハードウェアを組み合わせなくても最大で60 kWの電力を供給できます。

利点 特長
  • 定電力、定電圧、定電流制御
  • 最大限の柔軟性とモジュール式設計
  • アーク制御強化
  • プロセス自動安全装置
  • ワイドタップレンジ
  • 高い電力密度
  •  5 kW /10 Kwオプション(マスター/スレーブ、最大60 kW)
  • 内部負荷マッチング(インピーダンス範囲10:1)
  • 独立した2系統のアーク抑制回路
  • 高効率で小型の水冷設計
  • 豊富な別売アクセサリー
  • CE規格適合

資料ダウンロード

PEII Low-Frequency Power Supplies: 5 kW to 60 kW brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Power Systems for Reactive Sputtering of Insulating Films (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Optical Emission Studies for the Characterization of Pulsed Magnetron Sputtering Systems, April 2002 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
AE Global Services brochure

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