低・中周波
Photo of PDX low-/mid-frequency power system
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PDX®中周波電源装置

低出力(1250 W および1400 W)および高出力(5000Wおよび8000 W)中周波電源装置PDX®シリーズは、効率性に優れ、簡単に組み込める小型の電源装置で、様々な種類のプロセスアプリケーションに対応できます。高い信頼性を誇るこの種の電源装置によって、プロセス柔軟性が向上し、広範な運転周波数範囲の実現によりプロセス制御を最適化し、高いプロセス再現性を実現してスループットを向上させます。

 

資料ダウンロード

PDX® High-Power Series data sheet
PDX® Low-Power Series data sheet
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advanced Energy RF Calibration Process (2002) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003, magazine reprint
RF Power Fundamentals Course data sheet
AE Global Services brochure


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