低出力（1250 W および1400 W）および高出力（5000Wおよび8000 W）中周波電源装置PDX®シリーズは、効率性に優れ、簡単に組み込める小型の電源装置で、様々な種類のプロセスアプリケーションに対応できます。高い信頼性を誇るこの種の電源装置によって、プロセス柔軟性が向上し、広範な運転周波数範囲の実現によりプロセス制御を最適化し、高いプロセス再現性を実現してスループットを向上させます。
PDX® High-Power Series data sheetPDX® Low-Power Series data sheetSignal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paperAdvanced Energy RF Calibration Process (2002) white paperFabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprintPower Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003, magazine reprintRF Power Fundamentals Course data sheetAE Global Services brochure
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