完全一体型電源システムOvation™は、ユニークな電源スキームの実現によって、線幅が狭く要求条件が厳しい絶縁膜エッチングプロセスに必要な高速・高精度プロセスを可能にします。外部センサーを使わずに非50オーム環境で正確に電源を供給する初のシステムで、これにより従来型の電源装置を上回る高速応答性能が実現しました。60MHz仕様の本機はプラズマシース全体の電位を下げることによって、イオンエッチングによる損傷を抑制し、薄膜の品質と歩留まりを向上させます。

利点	特長
プロセスウィンドウの拡大 プロセス能力の拡大 プラズマ特性の向上 エッチングレート、選択性、均質性の向上 所有コスト（CoO）の低減	2760 W, 60 MHz（さらに高い出力要件への対応は当社までお問い合わせください） 掃引周波数 非50オームライン対応 アナログ、 RS-232、Ethernet対応制御オプション 設置面積が小さい―　最大出力2.7 kW用ハーフラックオプション 高い安定性と信頼性 専門技術者による各種アプリケーションのサポート

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