マッチングネットワーク 
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Navigator® デジタルインピーダンスマッチングネットワーク

高い汎用性を持つNavigator®マッチングネットワークの高度な技術により、広範な負荷インピーダンス(15 W~30 kW)にわたって正確性と信頼性に富む高速 マッチングを実現します。 マイクロプロセッサ制御ステッピングモ ーター回路とユーザーが選択できるデジタルチューニングアルゴリズムが装備された Navigatorマッチングネットワークは、従来型のアナログ式チューニング方法よりも優れた整合性と正確性を実現します。 これにより、セミコンダクタ、ソーラーPV、FPD、MEMs製造プロセス(エッチング、CVD、HDP-CVD、PVD、チャンバクリーニングアプリケーションを含む)に合わせて、供給されるプロセス電力を最適化することができます。 オプションの内部Z'Scan® RFセンサーは、プロセス電力およびインピーダンスをリアルタイムで測定・分析し、プロセス変動の特定とその大幅な軽減を可能にします。 さらに、オプションのVirtual Front Panel(VFP)ソフトウェアを使用すれば、パソコンを使ってマッチングネットワークを監視、命令することができます。


利点 特長
  • 反射電力の抑制 / 応答時間の高速化
  • プロセス制御の厳密化
  • ツールのスループットと生産歩留まりの向上を支援
  • 信頼性と維持費用の改善
  • 多重デジタルチューニングアルゴリズム機能付きのデジタルアーキテクチャ
    • パルス方式RF電源供給
    • 迅速な周波数管理
    • 他周波数アプリケーション用インターモジュレーション・ディストーション(IMD)耐性
  • プロセス電力とインピーダンスをリアルタイムで計測、解析


資料ダウンロード

Navigator®デジタルマッチング・ネットワーク     English
インピーダンス整合(2001年
)     English
Optimized Process Performance Using the Paramount™/Navigator® Power-Delivery/Match Solution (2007) white paper
Arc Handling in RF-Superimposed DC Processes (2006) white paper

Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
RF Measurements and Their Role in the Manufacturing Environment (2000) white paper
Tuner Topics (2007) white paper
Arcing Problems Encountered During Sputter Deposition of Aluminum (2000) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
March 26, 2008 - Advances in Radio Frequency Plasma Power Delivery Systems presentation

RF Power Fundamentals Course data sheet

AE Global Services brochure

 

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