DC 電源システム
MDXシリーズ(1 kWおよび1.5 kW)の写真
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MDXシリーズ(1 kWおよび1.5 kW)

厳しい規制への適合、優れたアーク消去効果、低い蓄積出力エネルギーを特長とするMDXシリーズDC電源装置は業界をリードしています。真空環境での厳しい連続使用条件に耐えるように設計されたこの堅牢な電源装置は、DCマグネトロンスパッタリングドライブとしてよく使われています。また、高周波スパッタリングおよびエッチングシステムでも、規制の厳しいバイアス供給に使われています。実験室用システムに最適な小型設計ソリューションです。
利点 特長
  • 厳しい規格に対応
  • 歩留まりの向上
  • ターゲットバーンイン時間の短縮
  • 高い信頼性
  • メンテナンスや交換が簡単
  • 低い蓄積出力エネルギー
  • リップルが小さい
  • アーク抑制時間が調整可能
  • 高効率
  • 小型設計
  • 電圧・電流・パワーレギュレーションモード
  • フロントパネル・アナログインタフェースコントロール
  • 保護機能一式を搭載


資料ダウンロード

MDX 1 kW and 1.5 kW Magnetron Drives brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advances in Arc-Handling in Reactive and Other Difficult Processes (2001) white paper
How Advanced Energy's MDX Products Manage Arcs (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Pulsed-DC Reactive Sputtering of Dielectrics: Pulsing Parameter Effects, April 2000 magazine reprint
Reactive Sputtering Using a Dual-Anode Magnetron System, April 2001 magazine reprint
Biased Dual Magnetron Sputter Deposition of Alumina, April 2002 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
Single-Magnetron Approach Reactive Sputtering of Dielectrics, September 2000 magazine reprint
AE Global Services brochure

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