厳しい規制への適合、優れたアーク消去効果、低い蓄積出力エネルギーを特長とするMDXシリーズDC電源装置は業界をリードしています。真空環境での厳しい連続使用条件に耐えるように設計されたこの堅牢な電源装置は、DCマグネトロンスパッタリングドライブとしてよく使われています。また、高周波スパッタリングおよびエッチングシステムでも、規制の厳しいバイアス供給に使われています。実験室用システムに最適な小型設計ソリューションです。

利点	特長
厳しい規格に対応 歩留まりの向上 ターゲットバーンイン時間の短縮 高い信頼性 メンテナンスや交換が簡単	低い蓄積出力エネルギー リップルが小さい アーク抑制時間が調整可能 高効率 小型設計 電圧・電流・パワーレギュレーションモード フロントパネル・アナログインタフェースコントロール 保護機能一式を搭載

問合せ営業窓口
地元の特約店または正規販売代理店を探す
入力された電子メールアドレスではユーザーアカウントが作られていません。まずユーザーアカウントを登録してください。