効率性に優れ既存設備への統合が簡単な当社の低・中周波電源装置は、様々なアプリケーションでプロセス制御を改善します。

PDX^®中周波電源装置システム
PEII低周波電源シリーズ
LFGS RF Generators
Crystal^®

どれくらいのスパッタリングレートが実現可能でしょうか。 当社のスパッタリング装置のメニューシステムでアーク設定点を目盛りのどの位置に合わせたらいいでしょうか。 Visit our FAQ page for details.

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The Art of Choosing the Right Power Supply