Aera® LX-1200シリーズ液体MFCは、加熱蒸気ではなく液体のフローを制御します。独自設計により、競合する液体MFCでよくある気泡の形成や残留を防止します。
Aera LX-1200 MFCは、TEOS、TMP、TMBなどの液体に適しています。
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paperFundamentals of Mass Flow Control (2005) white paperRevised Conversion Factor (2002) white paperMass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheetBasic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMsAE Global Services brochure
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