LFGS RFジェネレータ
LFGSジェネレータは、セミコンダクタ生産、汎用プラズマプロセスなど用途の広いRF電源装置です。この可変周波数ジェネレータは、19インチの小型ラックに搭載できる空冷式の本体にハーフブリッジ・クラスDのパワーアンプを採用しています。スパッタリング、反応性イオンエッチング、プラズマ蒸着、重合化処理、表面処理などのアプリケーションにご利用いただけます。
| 利点 |
特長 |
- Versatile—suits a wide variety of applications
- 市販品で最も低い反射電力を実現
- Easy installation
- Efficient use of valuable space
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- Variable frequency
- 空冷式
- 運転メニューを強化
- アクティブフロントパネル
- パルスモード：0～10 kHz
- CEX operation mode
- アナログユーザーポート× 2個
- RS-232／Ethernet／PROFIBUS対応
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機種の選択