LOW- / MID-FREQUENCY POWER SYSTEMS
Photo of LFGS RF Generator
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LFGS RFジェネレータ

LFGSジェネレータは、セミコンダクタ生産、汎用プラズマプロセスなど用途の広いRF電源装置です。この可変周波数ジェネレータは、19インチの小型ラックに搭載できる空冷式の本体にハーフブリッジ・クラスDのパワーアンプを採用しています。スパッタリング、反応性イオンエッチング、プラズマ蒸着、重合化処理、表面処理などのアプリケーションにご利用いただけます。

利点 特長
  • Versatile—suits a wide variety of applications
  • 市販品で最も低い反射電力を実現
  • Easy installation
  • Efficient use of valuable space
  • Variable frequency
  • 空冷式
  • 運転メニューを強化
  • アクティブフロントパネル
  • パルスモード:0~10 kHz
  • CEX operation mode
  • アナログユーザーポート× 2個
  • RS-232/Ethernet/PROFIBUS対応


機種の選択


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