Ascent® DMSアドバンスド デュアルマグネトロン スパAscent® DMSアクセサリーッタリング アクセサリー — 30~180 kW
Ascent® DMSシリーズは、デュアルマグネトロン スパッタリングに対して、かつてない電力供給の容易化および制御を実現し、フィルム特性を厳密に調整できます。選択可能な周波数、レギュレーションモード、デューティーサイクル、さらに低蓄積エネルギーと簡易でモジュラー形式のシステム構成を備えたAscent DMSアクセサリーは、まさに次世代のテクノロジーです。費用効果が高く、システム拡張可能で汎用性に富み、複雑な手間を解消でき、品質とスループットが向上し、高度のプロセスイノベーションが可能です。

Ascent® AMS DC Power Suppliesも参照してください。

利点 特長
  • フィルム価値の向上: 再現性が高く、カスタマイズ可能な蒸着膜
  • 所有コストの低減および生産性の向上
  • イニシャルコストの低減
  • アーク損傷低減を伴った高電力レベル
  • 容易なシステム拡張性、組込およびサポート
  • モジュラー形式およびシステム拡張性(180 kWまで構成可能な30、40および60 kWユニット)
  • 選択可能な周波数(500 Hz~50 kHz)
  • 電力、電流、または電圧レギュレーション
  • 調整可能なデューティーサイクル — マグネトロンごとに独立した電力比のレギュレーション
  • ユニポーラおよびバイポーラ動作
  • あらゆる工業用デュアルマグネトロンスパッタリング電源の中で最小のアークエネルギーを実現
  • CEX (位相同期)
  • EU RoHS準拠