DC 電源システム
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最新のアーク制御(Arc Management System™)技術を
実装したAscent® DC電源

Ascent® DC電源は、アークの影響を受けやすいプロセス管理に最適化されており、精度の良い電力供給により、再現性の高い高品質の薄膜の成膜を可能にします。電源の信頼性は厳密な認定プログラムによって保証されています。最適化されたアーク制御(Arc Management System™)技術でアークを消去することにより、膜へのダメージを防ぐとともにプロセスを阻害する要因を取り除きます。さらに、極めて苛酷なアーク条件下であっても、セットポイント補償(Set Point Compensation™)技術によって成膜速度を補うためにセットポイントを調整することが出来ます。簡単に設定・操作できるAscent電源は、豊富なユーザーインターフェースとVirtual Front Panel(VFP)ソフトウェアを搭載しています。複数の電源によりマスター/スレーブを構成することも出来ますが、Arc-Sync™技術を利用することにより、隣接する多数のカソードに対応する複数の電源においてアーク制御の同期を取ることも出来ます。Ascent電源を使うことによって、どのようなシステム構成であっても、再現性のある安定したプロセス電力を供給できます。


利点 特長
  • フィールドでの信頼性の向上
  • 最適化されたアーク制御能力により膜質、生産性、スループット、歩留まりが向上
  • 容易なスパッタリングプロセス用電源の統合
    o ソーラーPV
    o FPD
    o 工業用コーティング
    o ウェブコーティング
  • 30、40、60 kWモデル
  • 特許取得済み/特許申請中のアーク制御(Arc Management System™)技術
  • セットポイント補償(Set Point Compensation™)技術
  • VFPソフトウェア
  • リモートフロントパネルとパッシブフロントパネル
  • RS-232/485、Ethernet、Profibus、アナログ通信インターフェー
  • マスター/スレーブ対応(最大12台まで)
  • 1日24時間・週7日、年中無休の技術サポート
  • RoHS適合


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