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サーマルMFC(マスフローコントローラ)
Aera® Transformer® MFCの写真
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Aera® Transformer®デジタルマスフロー製品

優れた応答性、正確性、再現性、信頼性を誇るAera® Transformer®デジタルMFC/MFM各機種は、プロセスの改良、歩留まりの改善、ならびにCOOの削減を実現します。

最新式のセンサ・バルブ技術、現場で実績のあるプラットフォームコンポーネント、ならびに高速デジタル回路を搭載した本機は、最も精密なガスフロー制御にご利用いただけます。柔軟性に富むこの製品ラインナップは、シングルガス対応、マルチガス・マルチレンジ対応の両機種を揃えています。
利点 特長
  • 優れた成果
  • 抜群の正確性、再現性ならびに安定性
  • 他の追随を許さない信頼性
  • 包括的な通信・制御
  • 統合が容易
  • 使い方が簡単で汎用性に富む
  • 大幅なコスト節約
  • 世界一流のサービスとサポート
  • マルチガス・マルチレンジ選択
  • 高速応答性
  • 100%メタルシール・超高純度設計
  • 現場でプログラム可能
  • 再校正をしなくても幅広いガス選択が可能
  • DeviceNet®、RS-485もしくはアナログ制御
  • 多彩な警告・診断機能
  • RoHS適合

資料ダウンロード

Aera®Transformer Digital Mass Flow Products brochure
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
Basic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

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