次世代の半導体製造プロセスの要求に対応して開発したのが、Aera^® PI-980^®シリーズ・プレッシャーインセンシティブ（PI）MFC（マスフローコントローラー）です。この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガスフロー安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れたフロー安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。

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Aera^® PI-980^® シリーズ・プレッシャーインセンシティブ(PI) MFC     English
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Beyond Pressure Transients: Using Pressure-Insensitive MFCs to Control Gases In Semiconductor Manufacturing, March 2006 magazine reprint     
Basic Product Information and Troubleshooting for Aera^® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

 

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