同時に3ライン（各ライン最大流量：90 gpm）まで供給できるGS460シリーズ（加熱気化システム）は、光ファイバーや合成石英のように、大量のSiCl4を必要とする製造プロセスに適しています。
タンク内の圧力を高度に安定化させる流量コントローラを装備しています。
（写真はGS460）
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paperFundamentals of Mass Flow Control (2005) white paperRevised Conversion Factor (2002) white paper
Considerations In the Selection of Vapor Delivery Sub-Systems, March 2008 magazine reprintAE Global Services brochure
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