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サーマルMFC(マスフローコントローラ)
Photo of Aera® FC-D770 Industrial Digital MFCs
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Aera® FC-D770工業用デジタルMFC

Aera® FC-D770工業用デジタルマスフローコントローラ(MFC)は、卓越した性能と価値を実現しながら、工業生産アプリケーション独特のニーズに応えます。マルチガス・マルチレンジ(MGMR)機能および経済的なエラストマーシールを用いて各種の製造環境に必要な入出力オプションを内蔵した設計。優れた速度性能、高精度ならびに再現性を誇るAera FC-D770 MFCは、スループットならびに薄膜品質を向上させます。現場でプログラム可能なMGMR製品を選択することで、高度な容易性と柔軟性が実現します。



利点
特長
  • 優れた薄膜、エッチング品質
  • スループットの向上
  • 高度な容易性と柔軟性
  • 世界一流のサービスとサポート
  • 卓越した速度性能、高精度、安定性ならびに再現性
  • 他の追随を許さない信頼性
  • 経済的なエラストマーシール設計
  • マルチガス・マルチレンジ選択
  • 現場でのプログラム設定が容易
  • 再校正をしなくてもガス選択が可能
  • RS-485、RS-232、カレントループ、もしくはアナログ制御
  • 多彩な警告・診断機能


資料ダウンロード

Aera® FC-D770 Industrial Digital MFCs brochure
Fundamentals of Mass Flow Control white paper
AE Global Services brochure
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