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サーマルMFC(マスフローコントローラ)
Aera® FC-7800 シリーズMFC写真
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Aera® FC-7800シリーズMFC

 

最も要求の難しい現場で豊富な実績のあるアドバンスドエナジー製Aera® FC-7800シリーズMFCは、精密なフロー制御のほか、メタルシールの優れた耐久力と非常に高い漏れ防止性能によって、大部分のガス制御アプリケーションに適合します。

規格の選択やAera独自の電気接続系統などの便利な特長を持つ本機は、既存のマスフローコントローラ(MFC)への置き換えも迅速かつ簡単にできます.


利点 特長
  • 高速応答性―設定点ポイント間の応答時間が2秒未満
  • 他の追随を許さない信頼性―ゼロドリフトは1年間で最大定格フローの0.5%未満
  • 統合が容易―標準コネクタと標準サイズ
  • 優れた成果―高品質の薄膜とエッチング特性
  • 耐腐食性設計
  • メタルシール
  • VCR®、VCO®、ならびにSwagelok®接続互換性
  • 100%メタルシール設計
  • 最大定格フローレンジ: 10 sccm~200 slm
  • ノーマリクローズ/ノーマリオープンソレノイド制御バルブ
  • 漏れ防止性能:1×10-10 atm-cc/sec(ヘリウム使用時)

資料ダウンロード

Aera® FC-7800 Series Thermal Mass Flow Controller brochure
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
Basic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

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