各種の非腐食性ガスアプリケーションの現場で豊富な実績のあるAera® FC-7700シリーズは、エラストマーシールの経済的な利点を提供しながら、精密で信頼性の高いフロー制御を実現します。 セミコンダクタ、フラットパネルディスプレイ（FPD）、データストレージ、産業用真空アプリケーション、製造コーティングに適したこのシリーズは、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、光学ガラスコーティング、光ファイバ、表面処理、その他のコーティングプロセスを含む非腐食性ガスアプリケーションで高い信頼性と優れた性能を発揮します。
Aera® FC-7700 Series Thermal Mass Flow Controller brochure Digital Mass Flow Controllers (2005) white paperFundamentals of Mass Flow Control (2005) white paperRevised Conversion Factor (2002) white paperMass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheetBasic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMsAE Global Services brochure
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