Aera® EPC排気圧コントローラは、ファブ周辺の条件がどれほど厳しくても優れた安定性を維持します。窒素ガス（N2）パイロットバルブ制御および特許を取得したバランシングスプール技術によって、従来型の技術では比較にならないほど高いレベルの応答性、正確性、安定性を実現します。EPC100-AWの絶対圧力制御アプローチは、気象条件や高度の違いによる大気圧変動も補正します。チャンバ排気圧を制御する目的で設計されたEPC製品シリーズは、プロセス環境を安定させることで、非常に均質性の高い酸化物薄膜層を実現します。高速応答性、幅広い圧力制御範囲、卓越した信頼性ならびに資源削減の改善をすべて実現することにより、歩留まりを向上させCOOを削減します。
[1] EPC100-AW、EPC100R-AW両モデルのみ
Aera® EPC Exhaust Pressure Controllers brochureAera® EPC100-AW Wins IC Industry Award
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