Aera® FC-D980シリーズデジタルMFC（マスフローコントローラ）・MFM（マスフローメーター）は、卓越した性能と作業汎用性を追及した結果、大幅なコスト節約と使いやすさを実現しました。アナログ／デジタル制御に対応した豊富な出力オプションにより、既存の制御・通信設定の大部分で使うことができます。お客様の求める価値と機能性に合わせて、シングルガス MFCからマルチガス・マルチレンジ MFCまで各種製品を取り揃えています。マルチガス・マルチレンジ MFCを使えば予備在庫の必要が大幅に減り、コストを削減することができます。総合的な監視・制御機能を持たせるためにRS-485インタフェース（コンバータを使えばRS-232にも対応）を搭載し、豊富な診断・警告機能を組み合わせることによって、運転パラメータを自由自在に操作できます。
Aera® FC-D980 Digital Mass Flow brochureDigital Mass Flow Controllers (2005) white paperFundamentals of Mass Flow Control (2005) white paperRevised Conversion Factor (2002) white paperEffective Closed-Loop Control for Reactive Sputtering Using Two Reactive Gases, April 2004 magazine reprintMass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheetBasic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMsAE Global Services brochure
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