Aera® ASシリーズ（加熱気化システム）は、TEOS、HCD、BTBASなどの半導体/FPD向け液体ソースを気化して、精密な量の液体蒸気をチャンバに供給します。本機に搭載された熱技術により、高温用MFCがガスの供給量を極めて安定制御します。コンパクトに設計されたAS-71は、既存のプロセス設備への取り付けも迅速かつ容易にできます。ガスウェットサーフェスはすべて電解研磨、超清浄処理されています。温度表示、流量設定／表示、システム警報表示機能を搭載したコントロールパネル（オプション）もご利用いただけます。
Aera AS-71C Thermal Vaporizers data sheetMass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet Digital Mass Flow Controllers (2005) white paperFundamentals of Mass Flow Control (2005) white paperRevised Conversion Factor (2002) white paperConsiderations In the Selection of Vapor Delivery Sub-Systems, MarchApril 2008 magazine reprintAE Global Services brochure
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